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新型的硅深刻蝕技術(shù)

  • 發(fā)布日期:2011-07-22      瀏覽次數(shù):3234
    • 新型的硅深刻蝕技術(shù)

      牛津儀器發(fā)布了名為PlasmaPro® Estrelas100的硅深刻蝕技術(shù),該技術(shù)提供了工業(yè)級的工藝性能,可以為微機電系統(tǒng)(MEMS)市場提供極為靈活的解決方案。

      考慮到研發(fā)領(lǐng)域的需要,PlasmaPro® Estrelas100提供了*的工藝靈活性。因為硬件的設(shè)計考慮到了在同一個空間內(nèi),同時實現(xiàn)多步刻蝕(Bosch™)和冷凍刻蝕的技術(shù)條件,所以可以刻蝕出微米和納米級的結(jié)構(gòu)。無論是光滑側(cè)壁處理,還是高速率刻蝕,PlasmaPro® Estrelas100都已經(jīng)考慮到,無需改變反應(yīng)室的硬件就可以滿足微機電系統(tǒng)領(lǐng)域復(fù)雜多變的需求。

      伴隨著新型微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展和商業(yè)化,一些傳統(tǒng)的器件如加速度計、陀螺儀和麥克風(fēng)持續(xù)大量的被應(yīng)用到各種的消費電子產(chǎn)品,包括顯示器、汽車產(chǎn)品等。微機電系統(tǒng)可以滿足需要小型化器件或傳感器領(lǐng)域的需求。在研發(fā)領(lǐng)域的嶄新需求包括:能量收集器、揚聲器、無線射頻識別技術(shù)、微型投影儀、振蕩器、微電池以及自動對焦技術(shù)等等。

      “牛津儀器的等離子技術(shù)部門將一如既往地為已有的或新出現(xiàn)的微機電系統(tǒng)應(yīng)用市場開發(fā)先進的工藝技術(shù)” ,牛津儀器等離子技術(shù)銷售主管Mark Vosloo評論說,“由于帶有寬泛的工藝和應(yīng)用組合,我們的技術(shù)滿足了當(dāng)前的和未來的技術(shù)需求。我們在微機電系統(tǒng)的研發(fā)領(lǐng)域有著超過19年的經(jīng)驗,我們對市場需求充分了解,能夠真正地掌握客戶的需求并為他們提供的工具。”

      *化的硬件和工藝控制,以及杰出的客戶服務(wù),意味著牛津儀器可以為其客戶持續(xù)提供產(chǎn)品,這些都可以大大降低客戶的成本。

      新系統(tǒng)的成功開發(fā),鞏固了牛津儀器在新一代工具和系統(tǒng)的工業(yè)和研發(fā)市場中的供應(yīng)商的地位,這得益于我們對微觀尺度物質(zhì)的分析和操控能力。公司開拓創(chuàng)新,把智能科技應(yīng)用到*的產(chǎn)品中,為21世紀(jì)研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用所面臨的挑戰(zhàn)提供了可靠的支持。



      關(guān)于牛津
        牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國牛津,現(xiàn)已成為世界的科學(xué)儀器跨國集團公司,是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家,擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及的分公司或辦事處。
        具體產(chǎn)品信息請參見牛津儀器公司中文及英文:
        www.oichina.cn
        www.oxinst.com
        牛津儀器(上海)有限公司 : (021) 64908280 傳真: (021) 64904042
        牛津儀器(上海)有限公司上海辦事處 : (021) 60732929 傳真: (021) 60732949
        牛津儀器(上海)有限公司北京辦事處 : (010) 65188160 傳真: (010) 65188155
        牛津儀器(上海)有限公司廣州辦事處 : (020) 83649990 傳真: (020) 83649996
        牛津儀器(上海)有限公司成都辦事處 : (028) 86703596 傳真: (028) 86703595 
       

      *此信息來源于牛津公司!

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